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金屬薄膜傳感器 專題

  • 第 1 章
  • 引言
 
Thin-film strain gauge_Nidec Components
 
在此特輯中,我們將介紹我們正在重點開發的金屬薄膜傳感器。
透過利用我們獨特的先進感測技術所產生的高性能潛力,為各領域的創新產品的創造做出貢獻。
 
 

 

 
 

應變傳感器 種類

 

 

 
 
首先,我們先簡單介紹一下應變傳感器。
即使是剛性物體,受力時也會發生輕微變形。應變感測器可以檢測到這些難以察覺的變形(應變),使我們能夠估計引起應變的物體中的應力。
應變傳感器依應變感測材料主要分為電阻式箔應變傳感器、半導體應變傳感器和薄膜應變傳感器。
(1電阻式箔應變傳感器
當作為電阻元件的金屬箔受到應力時,金屬箔會拉伸並改變橫截面積和長度,從而導致電阻值變化。 應變是透過提取電勢變化來測量的。
(2半導體 (Si-MEMS) 應變傳感器
半導體元件上的應力會表現出壓阻效應,導致電阻改變。雖然半導體應變傳感器由於壓阻效應而提供高靈敏度,但它們對溫度等環境變化也很敏感。
(3薄膜應變傳感器
在基材上形成具有壓阻效應的金屬薄膜,並測量因應變而產生的電阻變化。 一般來說,它具有介於電阻箔型和半導體型之間的特性。
 
薄膜應變傳感器是?
 

 

 
 
應變傳感器薄膜採用具有壓阻效應的金屬材料,並透過濺鍍等方法將薄膜沉積在基板上。 當基底是陶瓷等絕緣體時,應變感測器材料可以直接沉積在基底上。 然而,當基底是金屬時,需要絕緣層來防止基底和感測器材料之間的電接觸。

與其他應變傳感器類型一樣,與原始電阻值相比,由於應變引起的電阻變化很小。 為了提取這種變化,使用惠斯登電橋電路來測量與平衡點的電位差。

 
我們這次要介紹的應變傳感器屬於上述(3),即薄膜應變傳感器。
大多數應變傳感器都是將電阻箔或半導體元件黏在樹脂薄膜上,或在薄膜上形成薄膜元件。 但值得矚目的是,我們的薄膜應變傳感器是安裝在剛性金屬晶片上。

 

 
  • 第 2 章
  • 我們的金屬薄膜傳感器的優勢
 

 

 
 

在本節中,將介紹我們開發的金屬薄膜傳感器的高性能和獨特特性。

追求高性能潛力與便利性

 

 

 
 
Thin-film strain gauge cad_Nidec Components
我們的金屬薄膜傳感器在靈敏度和環境穩定性之間取得了平衡,為各種測量需求提供了巨大的潛力。
透過使用高靈敏度的薄膜材料作為應變傳感器元件,並透過絕緣膜將該薄膜貼在金屬基材上,可以直接檢測基材中產生的應力。 透過採用這種獨特的結構,不使用薄膜或黏合劑,我們實現瞭如下所示的優異性能。
 
1. 高靈敏度
 

 

 
 
  • 我們的薄膜材料, 採用規格係數是一般金屬箔5至10倍的材料。 這種高應變係數使我們能夠實現高S/N比,並且可以進行高靈敏度感測。
 
2. 卓越的線性度
  • 我們的應變感器元件透過剛性絕緣層牢固地黏合到基板上,由於不存在幹擾滑動因素,因此減少了滯後的發生,並準確地傳輸應變量。
  • 即使在線彈性區域,金屬也會隨著應力的增加而表現出輕微的非線性特性。 我們的高靈敏度應變感器元件,即使在金屬的線性彈性範圍內,也可以偵測到輕微的應變,從而確保高線性度。
線性誤差參考圖
 
3. 低漂移
  • 傳統的薄膜式應變片在應變片元件和基板之間有黏合劑或樹脂材料。 隨著時間的推移,環境影響可能會導致這些材料變形,從而導致漂移。 相較之下,我們的傳感器直接沉積在金屬基板上,避免了材料變形,使其不易受到環境和時間變化的影響,從而減少了輸出漂移。
 
4. 高速響應
  • 由於直接沉積結構,傳感器和基板之間的物質極少,響應的抑制因素也被最小化。 因此,變形的傳輸速度極快,可以快速且準確地測量力和扭力波動。
 
5. 高耐用性
  • 由於其直接成膜結構,因此具有極高的耐久性,即使經過1000萬次循環耐久性測試,性能也沒有變化。
 
6. 安裝方便
  • 我們的薄膜應變傳感器直接沉積在金屬晶片上,並使用 “螺絲緊固” 連接技術安裝在測試物體上。 這種方法可以根據所安裝的設備進行靈活的結構設計,無需耗時地黏附到測試物體上,從而適合大規模生產。 這種方法提供了卓越的穩定性和準確的應變測量。
 
7. 設計靈活性
  • 由於應變片圖案是透過成膜製程形成的,因此可以在應變發生的精確位置形成精細圖案從而可以根據客戶測試物件中發生的應變來配置薄膜應變傳感器,並實現自由設計。
 

傳感器晶片作為傳感器模組提供

 

 

 
 
為了提供低成本、高批量生產的力/扭矩傳感器,同時利用我們的金屬薄膜傳感器的高性能,開發並擴展了將標準傳感器晶片連接到測試對象的技術。 透過設計附著傳感器晶片的彈性結構的最佳形狀,可以以低成本製造用於從大負載到微小負載的各種用途的力和扭矩傳感器。
 
基於測量負載的彈性結構形狀
 
  • 我們將安裝傳感器晶片的結構作為傳感器模組提供給客戶。
  • 不單獨提供傳感器晶片。
 
【也可提供積體電路】
我們還提供積體電路,包括應變感測器元件的電壓供應、偵測到的電位差的放大、A/D 轉換、校準、串列通訊和其他功能。 這些標準電路可以作為集成傳感器模組提供。
 
  • 標準接口為RS485。
    如需其他接口,請聯絡我們。
    (RS422、EtherCAT 等)
  • 如需其他接口(RS422、EtherCAT 等),請聯絡我們。

 

 

 

 

 
 
  • 第 3 章
  • 薄膜傳感器的應用場景
 

 

 
 
 

滿足客戶多樣化功能的需求可能性

 

 

 
 

使用我們的金屬薄膜傳感器,可以實現多種功能需求。例如以下:

 
  • 想測量在一個方向上施加的力/扭矩的大小,從極小的力到大噸級的負載。
  • 在多個方向上施加的力/扭矩的大小、在每個軸方向上分別測量時。
  • 根據測量的負載,精確控制加壓力和旋轉扭矩時。
  • 檢測並預測負載的變化,以識別異常或估計使用壽命。
  • 想精確測量重量。
  • 想立即檢測到輕微的動作。
  • 当真實地將所施加的力量傳達給人。
  • 透過調節所施加的力來控制設備。
 
 

希望分享您的要求和應用

 

 

 
 

綜上所述,我們的金屬薄膜感測器具有巨大的潛力,可以為我們的客戶在各種應用中創造創新產品做出貢獻。

applications image
  • 機器人
  • 動力輔助
  • 接觸式測頭
  • 導管
    壓力感知器
  • 機床工具
  • 測壓元件
  • 重量秤
  • 沖壓模具的
    應力測量
  • 縫紉機
  • 輸入裝置
  • 操縱桿
    控制器
  • 移動性
    驅動扭力控制

為了向您提供最適合您的應用效能和可用性的感測器,我們建議根據您特定需求量身定制感測器。 開發早期階段的有效協作(包括關於技術和規格調整等),對於提供最適合您產品的感測器至關重要。 期待著請隨時與我們聯繫。

 
 

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